第440章 光波没有摩擦力（1/2）

四月中旬，吉省长光所。

地下实验室的无尘室外，王老的团队已经连轴转了两天两夜。

玻璃窗內，一组从樱花国弄回来的日產光学物镜被拆成了几十个编號部件。

镜片、隔圈、压环、镀膜样片，全都铺在防静电垫上。

每一个动作都慢得要命。

因为这玩意儿不是普通镜头。

它关係到光刻机能不能从现有水平，往1.5微米製程上再迈一步。

林希站在玻璃窗外，看著里面的进度。

这时，江俊拿著一份资料册快步走了过来。

“林经理。”

他的声音比三年前稳了太多。

三年前，江俊站在林希面前时，背是塌的，手里攥著女儿的病歷。

现在，他白大褂袖口卷到小臂，资料册夹在胳膊下，开口第一句就是工艺参数。

“光刻机要升级到1.5微米製程，光有镜头不够。”

江俊翻开工艺资料册，指著设计图上的对齐位。

“1.5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”

他手指敲了敲图纸。

“也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级別的微小位移。”

江俊合上资料，语气很沉。

“三年前搞出来的1微米精度光柵尺，已经不够用了。”

林希点了点头。

他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死晶片製程的物理天堑。

你连工作檯挪了多少都量不准，还谈什么套刻

晶片不是靠热血喊出来的。

每一道线，都得用精度咬出来。

“跟我来。”

江俊没多解释，转身就走。

林希跟著他推开走廊尽头一间独立实验室的门。

屋里温度比外面低，墙角的除湿机一直在响。

光学平台四周拉著黑色遮光帘，地面上连脚印都很少。

江俊走到一张光学平台前，手指搭在防静电黑布边缘，停了半秒。

那动作不像揭布。

更像是掀开自己三年心血的盖头。

他一把拉开黑布。

光学平台上，一台半米长的金属设备安安静静躺著。

结构紧凑，反光镜组排布复杂，铝合金外壳擦得发亮。侧面贴著一张手写標籤。

cq-1型双频氦氖雷射干涉仪。

林希蹲下来，绕著看了一圈。

“跑通了”

“跑通了。”

江俊回答得很稳。

但他握著黑布的手一直没松，指腹压得发白。

“林经理，三年前你给我批无上限预算，把雷射干涉仪的活儿交给我，那时候我心里没有底。”

“一微米精度，难，但路是通的。”

“刻划机精度往上堆，材料往上磨，工人手艺往死里练，总能磨出来。”

他顿了顿。

“但一微米基本就是机械测量的天花板了。”

“机械结构有摩擦，有热胀冷缩，有震动。刻划刀再锋利，也是铁碰铁。”

“这三样东西消不掉，精度就上不去。”

江俊站起来，走到黑板前。

他没画复杂图纸，只写了一行字。

光波没有摩擦力。

林希看著那七个字，目光微微一顿。

江俊转过身。

“前年，我把光柵尺项目结题报告交上去之后，就开始琢磨这条路。”

“氦氖雷射器波长632.8纳米，稳定，单色性好，天生就是一把尺子。”

本章未完，点击下一页继续阅读。